Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Вакуумное ионно-плазменное оборудование для получения наноструктурных материалов
Аннотация:
В лабораторном практикуме приведены основные требования для выполнения лабораторных работ. Представлены основные сведения о вакуумных сильноточных плазменных технологических устройствах, о вакуумных технологических откачных устройствах, параметры дуговых разрядах низкого давления. Приведены примеры разработки технологических маршрутов для нанесения износостойких нанокристаллических покрытий в вакууме при помощи дугового разряда низкого давления.
Предназначен для студентов и магистрантов по направлению 223200.68 «Техническая физика».