Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Ионно-плазменные технологии и нанокристаллические покрытия
Аннотация:
В учебно-методическом пособии приведены основные требования для выполнения работ по курсовому проектированию. Представлены основные сведения о вакуумных сильноточных плазменных технологических устройствах, параметры дуговых разрядах низкого давления, приведены примеры расчета технологических процессов и примеры доклада при защите курсового проекта.
Предназначено для студентов и магистрантов по направлению 223200.68 «Техническая физика».
