Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Аппараты полупроводникового производства. СРС
Аннотация:
В учебно-методическом пособии приведены многовариантные задания для самостоятельного решения по расчету конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Металлургия», специальность 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
