Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Проектирование микросистем. Моделирование элементов
Аннотация:
Приведены описания лабораторных работ по выполнению компьютерного моделирования элементов микроэлектромеханических устройств в программе MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможно стях MEMS Pro, представлена методика выполнения лабораторных работ.
Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для специальности 210108.65 «Микросистемная техника» и направления подготовки бакалав-ров 210100.62 «Электроника и микроэлектроника»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
