Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Материалы микросистемной техники. Ч. 1. Кремниевые нанокомпозиты
Аннотация:
Приведены три лабораторные работы по созданию и исследованию нанокомпозитов на основе кремниевых пористых матриц, в которых изложены все необходимые сведения по подготовке, выполнению лабораторных работ и оформлению отчетов.
Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для студентов специальности 210108.65 «Микросистемная техника, для направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и микроэлектроника» по кодификатору ФГОС ВПО-3 для
направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и наноэлектроника».