Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок
Аннотация:
Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Дано краткое описание устройств вакуумно-дугового и магнетронного напыления. Изложены основные физические принципы получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и тонких пленок методом магнетронного напыления.
Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения.
