Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Методы создания вакуума и контроля процесса синтеза наноструктурных материалов
Аннотация:
Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Представлены основные сведения о вакуумных манометрических преобразователях и измерительных приборах, о вакуумных технологических откачных устройствах.
Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения.
