Вид издания:
Учебно-методическое пособие
Название:
Проектирование микро- и наноэлектронных устройств
Аннотация:
Представлены теория и методика проведения практических работ по изучению моделей электронных устройств, разработке топологии пассивных и активных элементов интегральных схем и расчету параметров управления технологическими процессами формирования полупроводниковых структур. Описание каждой практической работы содержит основные теоретические сведения, пример расчета параметров рассматриваемого технологического процесса или полупроводниковой структуры, задание на практическую работу, рекомендации и требования к оформлению отчета. Рекомендовано для магистров, изучающих дисциплину «Методы проектирования микро- и наноэлектронных устройств».
Предназначено для магистров направления подготовки 27.04.04 «Управление в технических системах» профиля 27.04.04.05 «Киберфизические системы управления производством».
