Название:
Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем
Аннотация:
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS.
