Название:
Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства
Аннотация:
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование.
