Название:
Современные технологии микро- и наноэлектроники. Ч. 2. Сенсорика
Аннотация:
В пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов.
Предназначено для студентов Института инженерной физики и радиоэлектроники СФУ, магистров и аспирантов по курсу "Современные технологии микро- и наноэлектроники", а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
